首页 >> 品牌中心 >> 爱发科>>爱发科ULVAC YM-RL系列罗茨泵机组 YM-RL-301A/YM-RL-302A/YM-RL-601A/YM-RL602A/YM-RL-1201A/YM-RL-1202A

    爱发科ULVAC YM-RL系列罗茨泵机组 YM-RL-301A/YM-RL-302A/YM-RL-601A/YM-RL602A/YM-RL-1201A/YM-RL-1202A

  • 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等


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    组成

  1. YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。



    2. 用途

  2. 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。



    3. 优点

  3. •  无油、干燥、清洁。


  4. •  在低温领域的均热化。


  5. •  大抽速，可以缩短排气时间。


  6. •  优良的耐腐蚀性。


  7. •  低噪音、低震动。


  • 技术参数



* 1  用皮拉尼真空计测定的值。
* 2  不作为推荐系列。
* 3  冷却水不得有结露。
* 4  用调节阀所调整的压力表的值。
* 5  氮气（密封气体）流量5L/min是固定值。



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