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腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
• 主要部件表面进行硬质氧化处理，提高耐腐蚀性，同时减少泵体内部损伤。
• 此特性可选，标准品表面不处理。
• 配置变频器后与粗抽泵同时启动，与标准泵相比有效缩短排气时间。
• 此配件可选，标准泵不配置。
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 分析仪器、密封装置。
• 真空热处理炉、溶解炉。
• 其他各种真空装置。
* 1 用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为6.5×10-2Pa。
* 2 随粗抽泵的性能而变化，表中数据是与标准粗抽泵组合使用时的数据。
* 3 冷却水入口温度必须为5～30℃。如冷却水温过低，则泵应在不易结露的环境中使用。
