宋经理18260178186
首页 >> 品牌中心 >> 贝意克 >> CVD系统>>贝意克/BEQ 低真空CVD石墨烯生长系统（型号：BTF-1200C-CVD）
扫码咨询我们
请填写以下表格，我们会尽快与你联系！或者直接致电宋经理18260178186（微信同号），谢谢！
主要特点
该设备是由1200度开启式管式炉、精密的质量流量控制系和真空系统所组成。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。
1.加热系统
最高温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
石英管尺寸 | Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定。 |
加热长度 | 440mm |
恒温区长度 | 200mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、三路质子流量控制系统
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制） |
准确度 | ±1.5%F.S |
线性 | ±1%F.S |
重复精度 | ±0.2%F.S |
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa |
最大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
3、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃～40℃ |
工作电电压 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽气速率 | 10m³/h |
极限真空 | 5X10-1Pa |
工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
噪音 | 50dB |
连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
