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贝意克/BEQ 卷对卷连续生长PECVD设备RTR-III-150
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该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，质量流量计气路系统，真空机组，压力控制系统，射频控制系统、石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放卷的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。 |
最高温度 | 1200℃ | 使用温度 | ≤1100℃ | 炉膛有效尺寸 | Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。） | 炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 | 热电偶类型 | K型热电偶 | 控温精度 | ±1℃ | 控温方式 | 30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序。 | 加热长度 | 200+200+200mm | 恒温长度 | 400mm | 加热原件 | 电阻丝 | 供电电源 | 单相，220V，50Hz |
2、PE射频电源 功率输出范围 | 0W~500W | 最大反射功率 | 100W | 射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female | 功率稳定度 | ≤5W | 谐波分量 | ≤-50dbc | 供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ | 整机效率 | >=70% | 功率因素 | >=90% | 冷却方式 | 强制风冷 |
3、三路质子流量控制系统 连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | 标准量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm （可根据用户要求定制） | 准确度 | ±1.5%F.S | 线性 | ±1%F.S | 重复精度 | ±0.2%F.S | 响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec | 工作压差范围 | 0.1～0.5 MPa | 最大压力 | 3MPa | 接口 | Φ6,1/4'' | 显示 | 4位数字显示 | 工作环境温度 | 5~45高纯气体 | 压力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 | 截止阀 | Φ6 | 内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
4、低真空机组：真空计：薄膜复合真空计（进口）。 空气相对湿度 | ≤85% | 工作环境 | 5℃～40℃ | 工作电电压 | 380V±10% 50~60HZ | 功率 | 1KW | 抽气速率 | 60m³/h | 极限真空 | 5X10-1Pa | 工作压力范围 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa | 耐压值 | 0.03MPa | 容油量 | 1.1L | 进气口口径 | KF40 | 排气口口径 | KF40 | 噪音 | 50dB | 连接方式 | 采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连
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宋经理18260178186
