日立全自动型原子力显微镜简介：

AFM5500M 是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发 的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。

参数：

1. AFM5500M 主机

   马达台	自动精密马达台 zui大观察范围：100 mm （4英寸）全域 马达台移动范围：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm zui小步距：XY 2 µm、Z 0.04  µm
   zui大样品尺寸	直径：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 样品重量：2 kg
   扫描范围	200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：闭环控制 / Z：感应器监控）
   RMS噪音水平*	0.04 nm 以下（高分辨率模式）
   复位精度*	XY: ≤15 nm(3σ、计量10  μm的标准间距) / Z: ≤1 nm (3σ、计量100 nm 的标准深度)
   XY直角度	±0.5°
   BOW*	2 nm/50 µm 以下
   检测方式	激光检测（低干涉光学系统）
   光学显微镜	放大倍率：x1 ～ x7 视野范围：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 显示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸显示器）
   减震台	台式主动减震台 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、约28 kg
   防音罩	750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 约 237 kg
   大小・重量	400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、约 90 kg

2. * 参数与设备配置及放置环境相关。

3. AFM5500M 原子力显微镜工作站

   OS	Windows7
   RealTune®II	自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈
   操作画面	操作导航功能、多窗口显示功能（测试/分析）、3D图像叠加功能、扫描范围/测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功能
   X, Y, Z扫描驱动电压	0～150 V
   时时测试（像素点）	4画面（zui大2,048 x 2,048） 2画面（zui大4,096 x 4,096）
   长方形扫描	2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
   分析软件	3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
   自动控制功能	自动更换悬臂、自动激光对中
   大小・重量	340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、约 34 kg
   电源	AC100 ～ 240 V　±10% 交流
   测试模式	标配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 选配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM

4. * WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标。

5. * RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标。

6. 选配项：SEM-AFM联用系统

   可适用的日立SEM型号	SU8240、SU8230（H36　mm型）、SU8220（H29 mm型）
   样品台大小	41 mm（W） x 28 mm（D） x  16 mm （H）
   zui大样品尺寸	Φ20 mm x 7 mm
   对中精度	±10 µm （AFM对中精度）